Deposition of polymer films by rf plasma nozle at atmospheric pressure

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma SLAVÍČEK Pavel BRABLEC Antonín KAPIČKA Vratislav KLÍMA Miloš
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	XV Symposium on Physics of Switching Arc, Vol I, Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma deposition
Popis	Deposition of polymer films by 13.56 MHz plasma jet at atmospheric pressure.
Související projekty:	Spektrální a optická diagnostika vf-výbojů hořících za atmosferického tlaku Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium procesů a aplikace plazmové tužky v kapalném prostředí Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Difuzní koplanární výboje na povrchové úpravy polymerních materiálů a plazmové depozice za atmosférického tlaku