Probe measurements in capacitively coupled rf discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Sondové měření v kapacitně vázaném výboji
Autoři	ŠMÍD Radek ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS'01, Proceedings of contributed papers, Part II, Physics of Plasmas and Ionized Media
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	capacitevely coupled r.f. discharge; Langmuir probe
Popis	Voltampérová charakteristika Langmuirovy sondy měřena v kapacitně vázaném rf výbojích, ve dvou ruzných plynech, argonu a dusíku. Z VA charakteristik byly získány hlavní parametry-plazmový a plovoucí potenciál, koncentrace a teplota elektronů, jejich střední energie a závislosti těchto parametrů na výkonu a vzdálenosti mezi elektrodami a pozici sondy vzhledem ke středu reaktoru, při tlacích 0,43-4,3 Pa.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek