Study of Thin Film Defects by Atomic Force Microscopy

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium defektů tenkých vrstev pomocí mikroskopu atomové síly
Autoři	KLAPETEK Petr FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy and 1st Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/PTBF44_107.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	AFM
Popis	V tomto příspěvku budou prezentovány výsledky týkající se některých defektů tenkých vrstev.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek