GID study of strains in Si due to patterned SiO2
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2001 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | J. Phys.D.: Appl. Phys. |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Popis | GID study of strains in Si due to patterned SiO2 |
| Související projekty: |