Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SUBEDI Deepak Prasad ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS'01 Proceedings of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	rf plasma; emission sectroscopy; rotational temperature; actinometry
Popis	Low pressure radio-frequency plasma produced in a capacitively coupled planar reactor has been studied by optical emission spectroscopy. Rotational temperature of oxygen molecule has been estimated at pressure 37 Pa and rf power 100-450 W. Concentration of atomic oxygen atom was monitored by actinometry.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek