Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	PRYČKOVÁ Jana SUBEDI Deepak Prasad BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka BRZOBOHATÝ Oto
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	JUNIORMAT 01
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Contact angle measurement; surface energy; microhardness; PECVD; Diamond-like carbon
Popis	Plazmochemickou depozicí jsme připravili amorfní diamantu podobné ochranné vrstvy ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu. Na základě měření kontaktního úhlu jsme učili volnou povrchovou energii připravených vrstev. Kontaktní úhel byl stanoven metodou založenou na CCD kamerou nasnímaném profilu kapky a metodou využívající difrakce laserového paprsku v bodě styku kapaliny s pevným povrchem. Ukázali jsme, že přidáním HMDSO do smesi pro plazmovou depozici lze modifikovat volnou povrchovou energii a mechanické vlastnosti vrstev.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek