Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	1999
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Materiálové vědy na prahu 3. milénia
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	PECVD; carbon; DLC; DLC:Si
Popis	Z plazmatu kapacitně vázaného vf. výboje jsme deponovali tenké vrstvy na bázi uhlíku. Srovnávali jsme optické vlastnosti vrstev deponovaných ze směsi metanu a argonu s vrstvami deponovanými ze směsi HMDSO + metan a HMDSO + metan + Ar.
Související projekty:	Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy