The ignition of low-pressure capacitively coupled discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Zapalování nízko-tlakého kapacitně vázaného výboje
Autoři	SKOPAL Petr DVOŘÁK Pavel
Rok publikování	2024
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Během první fáze zapalování silné elektrické pole silně proniká do celé oblasti výboje a EEDF je ne-Maxwellovské s přítomností elektronových skupin s vysokou energií. V další fázi se vyvene bulk plasma se slabším polem a vyšší koncetrací elektronů, ale potenciál plazmatu je nezvykle vysoký. Stabilizace potenciálu plazmatu a vývoj stejnosměrného předpětí je dosaženo až za desítky mikrosekund, protože vývoj elektrické asymetrie je kontrolován pomalým proudem iontů.
Související projekty:	R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications