Deposition of CNx Films in Inductively Coupled RF Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka ELIÁŠ Marek BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan LORENC Michal
Rok publikování	1999
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of ICPIG XXIV
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis	Deposition of CNx Films in Inductively Coupled RF Discharge
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek