Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vyšší harmonické frekvence výbojového napětí a proudu v kapacitně vázaném plazmatu
Autoři	DVOŘÁK Pavel ŽEMLIČKA Radek PŘIBYL Roman TKÁČIK Maroš PÁLENIK Juraj VAŠINA Petr SKOPAL Petr NAVRÁTIL Zdeněk BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2022
Druh	Vyžádané přednášky
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Zvaná přednáška shrnula několik let výzkumu vyšších harmonických frekvencí, které jsou spontánně generované v kapacitně vázaném plazmatu díky nelinearitě elektrických vlastností plazmatu. Přednáška shrnula vznik vyšších harmonických frekvencí, způsob jejich měření a problematiku Langmuirovy sondy bez vf. kompenzace, výpočet vyšších harmonických měření a jejich chování v řadě případů a na závěr důvod reakce vyšších harmonik na vznik nebo odleptání tenké vrstvy v plazmatických procesech.
Související projekty:	Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu