Kinetics of N2+HMDSZ gas phase chemical reactions in a remote RF plasma reactor with electron spin resonance

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Marek JANČA Jan KUDRLE Vít TÁLSKÝ Antonín
Rok publikování	1999
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Přiložené soubory	ispc99.zip
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek