Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel OHLÍDAL Miloslav VIČAR Martin KLAPETEK Petr
Rok publikování	1998
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/PTBF34_123.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Popis	In this contribution a comparison of the values of basic quantities characterizing random nanometric surface roughness determined by AFM and optical methods is presented.
Související projekty:	Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod