Spektrální elipsometrická charakterizace tenkých epitaxních vrstev Si_(1-x)Ge_x

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	LÍBEZNÝ Milan CAYMAX M. BRABLEC Antonín KUBĚNA Josef HOLÝ Václav
Rok publikování	1994
Druh	Kapitola v knize
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek