Dynamics of the titanium ground state atoms and ions in HiPIMS discharge

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

HNILICA Jaroslav KLEIN Peter VAŠINA Petr SNYDERS Rony BRITUN Nikolay

Rok publikování 2021
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis This contribution reports on plasma diagnostics of HiPIMS discharge by laser-induced fluorescence and atomic absorption spectroscopy. As a result of discharge characterization, the number densities, as well as temporal propagation of the neutral and ionized sputtered titanium atoms were determined. The results obtained in this study can be utilized to control the ionization degree, sputtering rate, as well as the other discharge parameters in industrial deposition processes involving HiPIMS discharges.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info