PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku
Autoři	SKÁCELOVÁ Dana ČECH Jan ČERNÁK Mirko
Rok publikování	2014
Druh	Článek ve sborníku
Konference	HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon
Popis	Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy