Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films

• Autoři: OBRUSNÍK Adam; BONAVENTURA Zdeněk; POTOCKÝ Štěpán; KROMKA Alexander
• Rok publikování: 2012
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma

Související projekty

• Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev