Finite Element Method Simulations of Hydrogen Plasma in a Linear Antenna Microwave Plasma Source for Deposition of NCD Films

• Autoři: OBRUSNÍK Adam; BONAVENTURA Zdeněk; POTOCKÝ Štěpán; KROMKA Alexander
• Rok publikování: 2012
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma

Související projekty

• Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev