Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

• Authors: ŽEMLIČKA Radek; JÍLEK Mojmír; VOGL Petr; SOUČEK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr
• Year of publication: 2013
• Type: Conference abstract
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Description: This work deal with preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron.

Related projects

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev